真空泵选型的注意事项可以从以下几点出发:1. 工艺要求达到的真空度:真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求,选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如:真空工艺要求100pa(绝对压力)的真空度,选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。2. 工艺要求的抽气量:真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在...
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